儀器名稱：白光干涉儀

品牌:  布魯克

型號：ContourX-200

產地：美國

儀器介紹：

1. 采用白光干涉原理成像，具備白光和綠光LED雙光源；

2. 臺階高度誤差：≤0.75%；

3. 臺階高度測試重復性：≤0.1%；

4. 粗糙度測試RMS重復性：≤0.01nm；

5. 自動樣品臺：XY方向移動范圍≥150mm×150mm；

6.用于觀察和分析各種材料（金屬、陶瓷、半導體等）表面的粗糙度，粒度，面型，平面度，特征尺寸等微觀結構，通過分析材料的微觀尺寸與宏觀性質之間的關系，從而得到最優化的材料加工工藝和參數，在科學研究，產品開發，工藝控制，失效分析中有廣泛的應用。